Ao (angstrom) seviyesinde yüzeye hassas, bu düzeydeki atomların yapısı ve cinsi hakkında bilgi veren tekniklerin tamamı yüzey analizini oluşturur. Özellikle son 30 yılda büyük gelişme gösteren bu bilim dalının en büyük dezavantajı yüksek vakum ortamının ( < 5*10-8 bar ) gerekliliğidir. Bu vakum ortamı sağlandığında madde yüzey yapısı hakkında detaylı bilgi elde edilebilir.